Синтез гетероэпитаксиальных пленок карбида кремния
Статья, 28 Января 2014, автор: пользователь скрыл имя
Краткое описание
В настоящее время наиболее перспективными методами нанесения покрытий являются вакуумно-плазменные методы. Это обусловлено их экологической безопасностью, высокой чистотой технологических процессов и качеством продукции.