Микро и нанотехника
Доклад, 19 Декабря 2011, автор: пользователь скрыл имя
Краткое описание
Микротехнологии - это область знаний, рассматривающая вопросы исследования, разработки, производства и применения миниатюрных приборов и устройств, изготавливаемых интегральным групповым способом, и использующих, наряду с электрическими, многие другие физические эффекты. Эта область деятельности формируется как очередной этап развития групповых прецизионных технологий, начало которым было положено микроэлектроникой.