Ионно-плазменные процессы нанесения пленок

Возросшие требования к степени интеграции, надежности и характеристикам ИС привели к необходимости использования наряду с традиционными (технологии термического нанесения и химического осаждения из парогазовой фазы) новых плазменных технологий нанесения покрытий. Плазменные технологии можно разделить на следующие группы: плазмохимическое, ионно-плазменное и ионно-лучевое осаждение. Поскольку применение традиционных технологий достаточно широко описано в научно-технической литературе, кратко остановимся на аспектах, позволяющих сравнивать традиционные и плазменные технологии.