Физика вакуума

Научный этап в развитии вакуумной техники начинается еще с 1643 года, когда в Италии Торричели измерил атмосферное давление. В 1672 г. в Германии О.Герике изобрел механический поршневой насос с водяным уплотнением, что дало возможность проведения исследований свойств разреженного газа.
В 1873 г. А.Лодыгин изобрел первый электровакуумный прибор - лампу накаливания с угольным электродом. В 1883 г. Т.Эдиссон открыл термоэлектронную эмиссию.
В начале ХХ века были изобретены широко применяемые в настоящее время вакуумные насосы - вращательный, криосорбционный, молекулярный, диффузионный.