Методы анализа определения примесей в кремнии
Реферат, 07 Июля 2014, автор: пользователь скрыл имя
Краткое описание
Кремний – один из основных материалов современной микро- и фотоэлектроники. Требования к методикам его анализа по набору определяемых примесей и пределам их обнаружения зависят от назначения методик:
для анализа металлургического кремния;
для контроля разных технологий его очистки;
для анализа «солнечного» кремния;
для анализа кремния, используемого в больших интегральных схемах (БИС);
для научных исследований и др.
Содержание
Введение …………………………………………………………………….3
Методы анализа определения примесей в кремнии…………………5
1.1.Активационный анализ…………………………………….…..…5
1.2. Масс-спектрометрический анализ…………………………..…..6
1.3. Атомно-абсорбционный анализ…………………………….…..10
1.4. Эмиссионный спектральный и химико-спектральный анализ……………………………………………………………….…..14
Заключение……………………………………………………………… …18
Список литературы………………………………………………………....19